上海自動化儀表一廠擴散硅壓力變送器采用半導體硅作感壓元件,硅半導體材料具有壓阻效應,在壓力作用下,硅晶格間隙發(fā)生變化,導致載流子遷移率的改變,從而引起電導率變化。
上海自動化儀表一廠擴散硅壓力變送器采用半導體硅作感壓元件,硅半導體材料具有壓阻效應,在壓力作用下,硅晶格間隙發(fā)生變化,導致載流子遷移率的改變,從而引起電導率變化。對于半導體電阻體,當機械變形時,電阻率的相對變化率遠大于外形尺寸L、A的相對變化率,其電阻變化率主要是壓阻效應造成,當半導體壓阻片與彈性元件處于一體,受壓而發(fā)生同一應變時,應變量c與被測壓力p成正比,說明半導體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比,由此可測出壓力的變化。當被測壓力(差壓)在全量程范圍內波動時(相應壓敏電阻變化量為△R),變送器輸出統(tǒng)一信號為4—20mA。
上海自動化儀表一廠擴散硅壓力變送器采用IC(集成電路)技術直接在硅膜上擴散形成應變測量橋路元件。因此體積可做得很小。擴散硅壓力變送器具有度高,直接輸出直流信號,線性度好,適用溫度范圍廣,重量輕,體積小,結構簡單等特點,可用于靜壓、動態(tài)壓力測量。